химическое осаждение из паровой фазы

химическое осаждение из паровой фазы

 

химическое осаждение из паровой фазы
Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • CVD
  • chemical vapor deposition


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Поможем написать реферат

Смотреть что такое "химическое осаждение из паровой фазы" в других словарях:


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»